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?。?)根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長(zhǎng)。 ?。?)管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置。 ?。?)對(duì)于不同特性的氣體,要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域,一般分為三個(gè)區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)。 (4)對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)。 ?。?)管路設(shè)計(jì)需要考慮輸送的距離,距離越長(zhǎng),成本越高,風(fēng)險(xiǎn)也越高,通常較合理的設(shè)計(jì)流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S。